고순도 구리 버스바 스퍼터링 타겟(4N-6N)

고순도 구리 버스바 스퍼터링 타겟 – 공정 및 품질 보증서

당사의 구리 버스바 타겟은 넓은 면적과 많은 양의 물리적 증착 공정에 특화되어 있으며, 특히 긴 길이에 걸쳐 균일한 코팅이 중요한 경우에 적합합니다.

주요 프로세스 특징

제조 공정에서는 일관된 성능을 제공하기 위해 첨단 야금 및 기계 가공 기술을 활용합니다.
●원료: 검증된 초고순도의 프리미엄 전해 구리 음극을 기본 재료로 사용합니다.
●진공 정련: 여러 단계의 진공 용융 공정을 통해 기체 및 금속 불순물을 제거하여 4N-6N 수준의 순도를 달성합니다.
●연속 주조: 제어된 열간 압출 또는 연속 주조를 통해 균일한 구조를 가진 길고 밀도가 높은 빌릿을 생산합니다.
●열간 가공: 단조 및 압연을 통해 결정립 크기를 미세화하고 이론적인 밀도에 가까운 밀도를 달성합니다.
●정밀 절단 및 가공: CNC 톱질 및 밀링을 통해 평행한 면을 가진 정확한 직사각형 치수를 구현합니다.
●표면 준비: 다단계 연삭 및 연마 공정을 통해 깨끗하고 결함 없는 스퍼터링 표면을 생성합니다.
●접착 옵션: 스테인리스강 또는 몰리브덴 지지판에 저온 인듐 또는 엘라스토머 접합을 사용할 수 있습니다.
●클린룸 포장: 최종 초음파 세척 및 이중 진공 포장으로 오염 없는 배송을 보장합니다.

품질 관리 시스템

● 음극 소스에서 완성된 버스바 타겟까지 완벽한 추적성 확보
● 모든 제품에는 재료 인증서 및 시험 보고서가 함께 제공됩니다.
● 독립적인 검증(SGS, BV 등)을 위해 보관 샘플은 3년 이상 보관합니다.
● 필수 항목 100% 검사:
• 순도 검증 (GDMS/ICP 분석; 산소 함량은 일반적으로 5ppm 미만)
• 밀도 테스트 (이론치 ≥99.5%)
• 결정립 구조 평가(금속 조직학)
• 치수 정확도(좌표측정기(CMM); 평행도 ≤0.1mm(일반적))
• 표면 품질 및 거칠기 (프로파일로미터 + 클린룸 검사)
● 내부 사양은 ASTM F68 표준을 능가합니다. 일반적인 특징: 열전도율 >395 W/m·K, 아크 없는 안정적인 스퍼터링 동작, 마그네트론 시스템에서 높은 증착 속도.